APIX/APIMS δQ and APIX/APIMS Quattro Ultra High Purity (UHP) Electronic Gas Analyzers

APIX/APIMS δQ е предназначен за непрекъснат автоматизиран анализ на следови примеси в ултрачисти технологични газове. API-MS технологията осигурява висока чувствителност при определяне на замърсители като H₂, CH₄, H₂O, CO, N₂, O₂, Ar, CO₂, Kr и Xe, в зависимост от анализирания основен газ.

Системата съчетава автоматично превключване и калибриране с бързо on-line измерване, което позволява своевременно откриване на промени в качеството на газовото захранване и подпомага защитата на чувствителни производствени процеси.

APIX/APIMS Quattro™ разширява тази концепция чрез интегриране на до четири анализатора в една система. Това позволява едновременно наблюдение на до четири различни ултрачисти газа и бързо идентифициране на замърсяване в комплексни газоснабдителни инсталации.

Системите са предназначени основно за контрол на UHP N₂, Ar, He и H₂, използвани при производството на полупроводници и електронни компоненти, където дори следови количества вода, кислород или други примеси могат да повлияят върху качеството и добива на продукцията.

Интеграцията със системите за управление на производството и автоматизираната работа ги правят подходящи за непрекъснат on-line контрол на качеството на газовете и ранно откриване на отклонения в газоснабдяването.